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低温等离子过氧化氢灭菌器是利用等离子体和过氧化氢灭菌剂对手术器械和医疗器械进行快速灭菌，不但提高了手术器械周转率，而且减少了贵重器械采购数量。灭菌过程中灭菌仓内保持低温状态，尤其适用于对湿热敏感的医疗器械用品，可有效减少灭菌器械的损耗。该设备可以直接放在洁净空间使用，不用排风、排水装置，副产物为少量的水和二氧化碳。
等离子体是气体经电离后产生的由正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除固、液、气外，物质存在的第四态。当气体被作用于*的能量，它就会变成有离子因素的等离子体。随着正负离子的数量不断抵消，等离子体电性变成中立的。
低温等离子体灭菌过程中会有许多因素影响终灭菌效果，如果处理不好，会导致灭菌失败，既增加了工作量也浪费了时间。
1、器械清洁不*：器械上有血迹及其他杂质残留，都会影响低温等离子过氧化氢灭菌器的灭菌效果。
器械在灭菌前应按照《医院消毒供应中心清洗消毒技术操作规范》有关规定*清洗干净。
2、器械干燥不够：过氧化氢溶于水，器械潮湿会过多消耗灭菌舱内过氧化氢，降低浓度，导致灭菌失败。
要检查待灭菌物品的清洁度和干燥程度，并用消毒包装袋单个密封包装，或放入灭菌器械盒内，用双层无纺布包裹。
3、灭菌时器械装载不当：器械叠加，器械过长或接触舱壁门，均会影响灭菌效果。
装好器械的消毒包装袋应逐个、单层平放，不可重叠。金属器械不能与灭菌舱侧壁接触，距灭菌室内壁的距离宜5cm以上。
4、灭菌系统的自身因素：由于设备自身系统发生故障致灭菌失败。
灭菌前检查设备性能是否良好，设置灭菌运行程序。灭菌过程中认真观察监测屏显示的温度及机器运转状况，遇有故障，立即停止灭菌。
5、过氧化氢液质量不合格或过期：过氧化氢溶液应在室温避光阴凉处存放。工作人员应及时更换过氧化氢液，并标明更换日期。
6、指示卡不变色：若放指示卡时将其紧贴在包装袋的塑面，在灭菌过程中过氧化氢不能接触指示卡变色条，则指示卡不变色，或指示卡在空气中放置时间太长，虽在有效期内但已被氧化或变潮，则灭菌后也不变色。
低温灭菌技术主要包含环氧乙烷气体灭菌法、过氧化氢等离子灭菌法、甲醛气体灭菌法与过氧乙酸灭菌法等。
环氧乙烷气体灭菌法以其高效性与穿透性，成为对湿热敏感物品低温灭菌的主要方式。此法使用两种形式的环氧乙烷灭菌剂：环氧乙烷与氟里昂混合气体与100%纯环氧乙烷气体。环氧乙烷灭菌时，其沸点为10.7℃，蒸气压为600mmHg，最低燃烧浓度为3%（30，000ppm），蒸气密度为1.49（与空气相比）。其对人体的毒性要求全程负压工作环境，包裹内残留需8～12小时自动机械通风，对环境排放需符合AAMIST41标准。
过氧化氢等离子灭菌法为1990年代的新低温灭菌技术，具有快速杀菌与分解产物无毒的优势。但穿透性差、对器械材质有限制，且成本较高。此法要求器械绝对干燥、不能上油，同时存在等离子过程的紫外线危害。
甲醛气体灭菌法具有对所有微生物的杀灭作用，但自然扩散能力较差且有致癌作用。低温甲醛蒸汽灭菌器则解决了这些问题，适用于不耐热耐湿物品的灭菌。此法具有穿透性有限、毒性强、过程参数控制难等缺点。
过氧乙酸灭菌法则成为戊二醛的替代品，尤其在欧盟国家大量使用。此法杀菌谱广、高效，且腐蚀性弱、稳定性好，价格低廉、容易获取。但其使用过程中受到多种因素的影响，如pH值、温度、配方种类、放置时间、浓度稀释等，需监测戊二醛浓度是否符合国家相关标准。在临床使用中，需注意其对皮肤、黏膜、眼睛与呼吸道的刺激作用，以及可能出现的过敏反应和全身性不良反应，需加强个人防护。
低温灭菌技术是指用来处理不耐受湿热的医疗器械与物品的一类灭菌方式的总称，目前世界主流的医院使用的低温消毒灭菌技术有戊二醛、酸化水、过氧乙酸、环氧乙烷灭菌、过氧化氢低温等离子体灭菌、低温蒸汽甲醛灭菌等。
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