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等离子清洗机的工作原理是通过等离子体中的活性粒子对物体表面进行“活化作用”,以达到去除表面污渍的目的。这种清洗技术不仅能够处理金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,还能实现对整体、局部以及复杂结构的清洗。
等离子清洗机的工作过程包括:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子清洗的最大特点在于无论处理对象的基材类型如何,都能进行处理。
等离子清洗技术还具有高精度控制、不产生表面损伤层、不污染环境等优点。它可以通过数控技术实现自动化清洗,同时具有高精度的时间控制能力。清洗效果显著,适用于各种材料的清洗。
根据反应类型的不同,等离子清洗可以分为物理反应和化学反应两种类型。物理反应主要依靠离子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面;而化学反应则涉及活性粒子与污染物反应生成易挥发性物质。
典型的物理反应清洗工艺是氩气等离子体清洗,它通过离子轰击使表面清洁。而氧气等离子体清洗则属于化学反应清洗工艺,通过氧自由基与碳氢化合物反应生成易挥发物,从而去除表面污染物。
等离子清洗机清洗原理是:
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面以达到清洗目的。
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