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一、真空检漏方法有哪些?

1、充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小。

2、真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小。

3、背压检漏法：利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法（或检漏仪）检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率。

真空检漏的性能指标

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。

漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

二、氦质谱检漏仪的主要配置

1.检漏仪专用分子泵
2.机械泵或者干泵
3.定制检漏仪专用电磁阀
4.内置标准漏口
5.放大器
6.采用质谱专用模块

氦质谱检漏仪标准漏孔介绍

标准漏孔介绍

在标准状态下，漏率已知的校准漏孔，即漏孔一端在环境温度为(23±7)℃，压力为(100±5)kPa，入口压力为(100±5)kPa，出口压力低于1kPa时的干燥空气通过漏孔的漏率，是已知的一种校准漏孔。

1．渗氦型标准漏孔：

渗氨型标准漏孔一般是由对氦气有较高渗透能力的石英或玻璃吹制成较薄的玻璃泡构成，有一个封闭的或再充气式的金属或玻璃气室。

渗透型漏孔优点：对污染不敏感；长时间内漏率稳定；漏率可以做到很小。

渗透型漏孔缺点：受温度的影响很大；玻璃元件很脆，不能承受机械冲击。

2.玻璃毛细管型标准漏孔：

它是将D1-D3mm的一段玻璃管拉制成1um左右的毛细管而得到。这种漏孔的温度修正量一般很小(<0.005K)。在使用氦气时，漏率应计入氦的渗透量，同时还要考虑温度、时间响应的影响。

3.压扁金属毛细管型标准漏孔：

它是将p4mm×0.1mm的无氧铜管或可伐管用油压机压扁后造成的漏孔。

优点：温度系数低，可以烘烤，不易损坏。

缺点：易堵，尤其是铜漏孔，因氧化而被堵

4.正压通道型标准漏孔：

专有的微通道技术，抗震、抗摔、防堵塞性好，可承受一定压力。真空响应速度快，温度系数低仅为0.1%/C。

标准漏孔的制作技术对比：

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