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一、内存是怎么制作的?

1.内存的工作原理
显然，内存指的是PC中常见的内存条，这一类内存属于动态随机访问存储器DRAM(DynamicRandomAccessMemory)，它的基本存储单元非常简单易懂，由一个N型场效应晶体管(NMOSFET)和一个电容组成。在这里可以把晶体管看成一个理想的开关。当NMOS晶体管打开时，检测电容放电造成的电压改变就是读取0/1的过程，向电容注入不同电荷就是写入过程；NMOS晶体管关闭时，电荷保存在电容上，处于存储状态。
DRAM的优势在于其结构简单，面积小，所以在同样面积内可以塞入更多存储单元，存储密度高，现在内存条的容量都顶得上多年前的硬盘了。大家可以自己算算一根2Gb的内存里面有多少这样的单元。缺点则是：
1.每次读取都是破坏性的，电容放电后电荷就尼玛没有了啊，所以还要重新写入一遍啊！！！
2.电容还尼玛会漏电啊，一般写入后几十个微秒之后就漏得没法检测了（现在的电容一般是25pF），整个阵列都要不停的刷新，就是把已经存储的内容读一次再写进去，期间什么都不能做啊！！！
3.电容太小导致很多问题，比如速度不能太快啊，会被宇宙粒子打到然后就尼玛中和了啊（Softerror）！！！！
4.没有电的时候存储的内容就丢掉了，这直接导致大量停电导致的文档丢失等杯具。。。。。
（使得存储器能够在无电时保留信息，台湾人施敏大师和一个韩国人发明了闪存Flashmemory。半导体业已经贡献过两个诺贝尔物理学奖：晶体管和集成电路，施敏怕是这个行业中仅存的还有机会拿奖的人，他的合作者早早挂了甚至连专利费都没拿多少。）
2.如何用半导体工艺制作以上的电路？
DRAM制造工艺是通用的集成电路制作工艺的子集，这个问题就可以转化为“集成电路是如何制造的？”而这个问题就比较复杂了，我争取用“盖楼”这个大家都能理解的例子讲清楚。
集成电路从其横切面来看，是分层的，基本使用同种材料实现类似功能，层与层之间通过通孔（via）做电学连接。
这一结构其实很像一座楼房，芯片制造的过程也有点像盖楼的过程，非常简化的步骤如下：
1.设计图，也就是芯片的版图（layout）；版图是一幅分层的俯视图，包含了每一层的物理形状信息和层与层间的位置连接关系。版图被转化成掩模（mask），每张掩模则是某一层的俯视图，一颗芯片往往有几十张掩模。芯片的每层是被同时制作的，就像盖楼是必须3楼盖好才能盖4楼。（本来想放一些自己手头上的版图和掩模给大家看看，涉及版权等问题，有兴趣的同学自己搜吧）
2.平整土地。这个没什么说的，绝大部分芯片都是从平整的芯圆（wafer）开始的，要对芯圆进行清洗啊什么的
3.地基和底层。这是在制造过程中最关键最复杂的一步，因为所有重要的有源器件（activedevice）如晶体管都是在电路的最底层。首先要划线（光照Photolithography）界定哪里要挖掉哪里要保留，然后挖坑（ecthing刻蚀），在需要的地方做固化（离子注入IonImplantation），盖墙铺管道什么的（化学沉积和物理沉积CVD&PVD）等等。具体步骤十分复杂，往往需要十几张掩模才能完成，不过大家可以自行脑补一座大楼怎么从地上长出来的。
4.高层。较高的层就相对简单了，还是划线决定（光照Photolithography）哪里要做墙或柱子，哪里是空间，再沉积金属把这些东西长出来。这些层次基本都是铜或铝金属连接，少有复杂器件。
5.封顶。做一层金属化合物固化保护，当然要把连接点（PAD）露出来。
6.清洗，切割。这一步盖楼是没有的。。。。一块300毫米直径的晶圆上可能有成百上千块芯片，像切蛋糕一样切下来。
7.封装。有点像外立面装修，然后给整座楼通水通电通气。一块小小的硅芯片就变成了我们经常看到的样子，需要的信号和电源被连接到一个个焊球或针脚上。封装是一门很大的学问，对芯片的电气性能影响巨大。

二、博特激光:晶圆划片机发展历程原来经历了这三个阶段

划片机作为半导体芯片后道工序的关键设备，其发展历程与集成电路产业同步推进，经历了三个重要的阶段。这一过程不仅见证了技术的革新与进步，也反映了半导体行业对产品质量与效率的不断追求。

第一阶段：金刚刀划片机（1960年代）

早期的晶圆划片主要依赖金刚刀划片机，采用划线加工法，适用于硅片、陶瓷、玻璃等材料的加工。然而，这种方法的加工成品率低，高度依赖人工操作，且切割质量受操作人员经验影响较大，切割精度有限。

第二阶段：砂轮划片机（1970年代中期）

随着集成电路时代的到来，晶圆尺寸的增加以及厚度的增厚，对划片技术提出了更高要求。日本在此阶段研发了第一台极薄金刚石砂轮划片机，有效解决了晶圆裂开和切槽崩边的问题。该设备通过电沉积法将金刚石粉附着在金属膜上，形成了高韧性的砂轮，提高了切割晶圆的效率和质量。

第三阶段：自动化划片机（大规模集成电路时代）

自动化划片机的出现旨在提高划片效率和成品率。自动化设备分为半自动和全自动两种类型。半自动划片机主要实现加工工序的自动化，而全自动划片机则能完成从安装到卸载的全过程自动化。这一阶段的划片机在切割速度和定位精度上有了显著提升，适应了半导体行业对高速度和高精度的需求。

菲格斯的五种直线电机：有铁芯、无铁芯、磁轴式、音圈、DD马达

原创2021-11-11 16:43·菲格斯模组滑台电机，相信大家都不陌生，就是将电能转化为机械能的设备。一般电机的工作原理是，通过线圈缠绕，通电，产生磁场，动子、定子之间的磁场相互排斥，产生推力，让动子转动起来，产生机械能，这个好理解。

但有一个问题，既然是通电，产生磁场，转动，然后通过减速机，皮带，齿轮等传动，产生直线运动，何不直接将电机的线圈铺平，将动定子直接平行对立，不就款可以直接产生直线推力了吗？那就省去不少转化过程中消耗的能源了啊。

对了，以上就是直线电机的大体设计思路和原理。

菲格斯作为深耕模组行业17年的老牌企业，在直线电机模组的研发上也走在前列。现在菲格斯已经推出了四种不同形式的直线电机，都是将电能直接转换为机械能，中间不需要任何转换机构和传动装置。这四种直线电机分别是：有铁芯直线电机、无铁芯直线电机、音圈电机、DD马达，下面为大家分别介绍一下：

一、有铁芯直线电机

顾名思义，这是将线圈缠绕到铁芯上，通过单面磁路提供单位体积最大的输出力。这里用于缠绕线圈的铁芯通常是硅钢板。这种有铁芯直线电机通常做成平板形，外形小巧，吸力低，无需偏斜磁体，大限度地降低齿槽效应。菲格斯有铁芯直线电机的定子可自由拼接，因此行程可以无限延长，霍尔传感器可以内置或外置，自由选择。

有铁芯直线电机，适用于点到点的微米级快速定位，可满足5m/s甚至更高速度，被广泛应用于半导体、光伏、锂电池、玻璃、液晶面板设备中的搬运和传送中，可实现高速定位。工况更加苛刻的工业印刷机、激光加工机等，需要高精高速和轨迹跟随、速度控制也能轻松应对。

菲格斯FL系列有铁芯直线电机

二、无铁芯直线电机

相对于有铁芯直线电机，菲格斯无铁芯直线电机没有提供线圈缠绕的铁芯或插槽，它的齿槽效应为零，重量更轻，线圈与磁路之间无任何引力。因此，无铁芯直线电机特别适用于需要轻负载、高加速度、极低轴承摩擦力、以及低速度下匀速运动等特殊需求。

无铁芯直线电机无电磁吸力，无齿槽效应，易于安装，推力密度大，低升温，高速度，高加速度，定子拼接，行程可无限延长。

无铁芯直线电机主要应用的行业有：激光加工设备，如激光切割、激光雕刻、激光打标、激光钻孔、激光划线等；半导体设备，如半导体晶体机、半导体焊接机、晶圆探针台等；以及精密数控工具、电子生产设备、精密检测设备、医疗设备、3D打印设备、3D自动化行业等。

菲格斯FU系列无铁芯直线电机

三、磁轴式直线电机

磁轴式直线电机的基本结构是由一个带有内置高能量永磁体的不锈钢轴和一个含有线圈的滑块组成。它的形制就是一根轴棒上面装有滑块，因此被称为磁轴式直线电机，

磁轴电机的线圈完全绕住了磁体，所以磁通量得到了最大的利用，实现了在其他直线电机中不可能实现的大推力和高效率。这种极致简单的结构使得磁轴式直线电机的分辨率高达纳米级别。

磁轴式直线电机惯量小、速度高、加速度高，运行平稳、安静、可以安装多个动子，内部结构简单，易于调节控制，因此多个高新行业用到。

菲格斯FR系列磁轴式直线电机

四、音圈电机

音圈电机是一种比较特殊的直线电机，具有体积小、高速度、高加速度、快速反应、平滑力特性等优良性能。因为它的高频震动与音响类似，因此被称作音圈电机。菲格斯生产的音圈电机主要是直驱式的。音圈电机的工作原理是，通过线圈、或者其他材料导体，在磁场内产生力，力的大小与施加在线圈上的电流成正比例，因此音圈电机可以做直线运动和圆弧运动。

音圈电机具有低电感、运动平滑、移动载荷、力可控，运动部件不接触无磨损等特点。高精度、高响应带宽的低质量线圈、直驱无齿槽效应的特点，让菲格斯音圈电机广泛应用于光学系统、半导体设备、震动控制、精密检测等行业。典型应用如，手机屏幕电机次数测试，如果手工去点击，几乎是不可能完成的，但用高频震动的音圈电机来测试就是小菜一碟。

菲格斯FV系列音圈电机

五、DD马达

DD马达是DirectDriver的简称，后面加上电机就是称为DD直驱电机也叫直接驱动马达。由于其输出力矩大，因此有些公司将该产品直接称为力矩伺服。

菲格斯DD马达，有内转子和外转子两种结构类型，直径从30mm到490mm，扭矩从1N.m到1200N.m有多个大小规格可选，绝对精度可达±10arc-sec，重复定位精度可达±0.5arc-sec。

菲格斯DD马达具有高精度、高刚性、低轴向径向跳动的优点，被广泛应用于半导体生产设备、光媒体、光学对应、定位检测、精密数控工具机、汽车装配检测、液晶制造设备、屏幕贴合设备、锂电池制造设备、高端丝印设备，以及医疗器械等微精密高端制造业领域。

菲格斯FD系列DD马达

菲格斯的这五种直线电机，应用于不同的行业领域，各有特色。菲格斯不仅生产直线电机，也提供用这些直线电机组装起来的直线电机模组，可以直接安装使用，方便各种工况要求的客户。下期为您详解，欢迎留言咨询。

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