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氦质谱检漏仪采用便携式设计,设备外型美观小巧,采用液晶触摸屏设计,具备通讯接口,方便地将检漏数据输出。
使用环境要求:环境温度在5~35℃,相对湿度不超过80%,供电电压为单相交流220V±10%,50Hz,最大工作电流为10A。
JSJ-242型氦质谱检漏仪是一款分体式检漏仪,内芯制造借鉴国外先进技术,具有灵敏度高、反应快、开机时间短的特点,显示为液晶触摸彩屏的全自动氦质谱检漏仪。
主要技术指标包括:最小可检漏率为5×10-12Pa·m3/s,漏率显示范围为1×10-4—1×10-12Pa·m3/s,启动时间≤5min,响应时间≤1.5s,检漏口的最高压力为1000Pa,电源要求为220v,50Hz,单相,10A,工作环境为5-35℃,相对湿度≤80%,外形尺寸为550(w)×400(D)×780(H),重量为66kg。
主要配置包括:德国普发检漏仪专用分子泵(原装进口)、优成机械泵、定制检漏仪专用电磁阀、内置标准漏口、美国AD放大器、采用质谱专用模块。
氦质谱检漏方法包括喷氦法和吸氦法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可或缺的一种技术,具有检漏效率高、简便易操作、仪器反应灵敏、精度高、不易受其他气体干扰等优点,在电阻炉检漏中广泛应用。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回振荡并与气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
氦质谱检漏仪(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)
在气体管路工程,特别是氢气管路等项目中,连接处可能存在微小的漏孔。这可能导致泄露和安全事故,特别是在输送超高纯电子气体的半导体、集成电路等行业。因此,泄漏检测至关重要。
通常,对纯度要求高的气体,氦检是必要步骤,确保气体管路的漏率在每秒10*e-10CC以下。气体管路密封的氦检漏规定具体包括:氦检漏仪应采用质谱型氦检测仪,检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。对于特气系统,内向测漏法泄漏率应小于等于1*10-9mbar*l/s;阀座测漏法泄漏率应小于等于1*10-6mbar*l/s;外向测漏法泄漏率也应小于等于1*10-6mbar*l/s。
氦质谱检漏仪具有操作简便、准确可靠、安全高效、成本较低、用途广泛的特点。氦气分子小,能侦测微小漏点。用于气体管路检测,包括高纯氦气、氢气管道,常采用正压法检测。检测方法:在无横风条件下,密封管道留一个检漏口,抽真空后充入0.1Mpa压力的氦氮混合气体(比例1:10),静置30分钟后,用吸枪连接氦检仪对可疑漏点进行吸氦检测。若管道有漏,氦气会被吸枪吸入检漏仪,超出本底值时会自动报警,完成排查后找出所有漏点。
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