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一、占领全球市场4.3%，清洗设备龙头盛美半导体上了规模等上利
目录
I.独孤求胜：从美国迁徙到上海
II.杀出重围：从电抛光到声波，盛美清洗技术自主之路
III.跃上龙头：半导体需求与制造向中国转移的设备自主战略机会
IV.亟待突破：毛利率、净利率和ROIC
I.独孤求胜：从美国迁徙到上海
盛美半导体，由美籍华人王晖在硅谷创办，其后设立上海子公司，实控人地位稳固。王晖凭借在半导体设备及工艺领域深厚的积累，一手开创了全球半导体清洗设备市场的一席之地。从美国到中国，盛美半导体以其独到的技术优势，成功在纳斯达克和科创板上市，享受了两地的资本盛宴。
II.杀出重围：从电抛光到声波，盛美清洗技术自主之路
面对电抛光技术市场瓶颈，盛美半导体毅然决然地选择了创新之路，从电抛光转向声波清洗技术。通过十年的研发与积累，盛美半导体在声波清洗领域取得了突破性进展，解决了工业清洗难题，大幅降低了生产成本，满足了节能减排需求。这一技术上的创新，使盛美半导体在国内外半导体制造商的生产线中占据了一席之地。
III.跃上龙头：半导体需求与制造向中国转移的设备自主战略机会
随着全球半导体需求和制造市场的转移，盛美半导体在中国市场占据了龙头地位。在全球半导体清洗设备市场，盛美半导体市场份额达4.3%，中国市场份额更是高达23%。在清洗设备细分市场，盛美半导体的销售规模预计达到近60亿美元，成为全球半导体设备企业中的佼佼者。
IV.亟待突破：毛利率、净利率和ROIC
二、至纯科技—立足高纯工艺，半导体清洗设备将迎增长
东吴证券发布投资研究报告，评级:增持。
至纯科技(603690)
国内高纯工艺系统龙头，后发进军半导体清洗设备业务
至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务，2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元，占比总收入的65%和8%。其中，半导体清洗设备业务，虽然起步稍晚，但市场空间大、增速快，是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元，CAGR达48%，归母净利润从1770万增长至1.1亿，CAGR达57%。
2019年公司收购波汇科技进军光传感器市场，产业链向下延伸的同时也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。
高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司提供稳定的现金流
高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务，属于特定行业的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要组成部分，约占其固定资产投资总额的5%-8%。
公司高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监，团队技术积累深厚，帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012年-2019年高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元，复合增速为25%，是为公司提供稳健增长现金流的业务板块。主要下游为医疗、光伏、半导体等，订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计2020到2022年高纯工艺系统收入分别为8.6、10.4、11.4亿元。
进军半导体清洗设备领域，赛道好空间大，容易率先实现全面国产化
清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%，较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低，比较容易率先实现全面国产化，故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元，到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%，即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量，其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。
公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备（难度低）和单片式清洗设备（难度高）。2019年起开始批量出货，目前槽式清洗设备和单片式清洗设备均能应用于8寸及12寸的晶圆。公司凭借技术优势，迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元（截止2019年末，累计已取得近40台正式订单，已完成近20台设备装机）。目前公司启东一期生产基地全面建成，已达到48套/年的产能，一二期共规划96套/年，公司于2019年12月发行可转债，募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产，预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。
盈利预测与投资评级：
我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿，当前股价对应动态PE分别为53倍、38倍、29倍，在可比公司中处于最低位置，我们看好公司半导体清洗设备业务的发展，在估值上存在提升空间，首次覆盖给予“增持”评级。
风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险；收购协同效应不及预期。
半导体清洗设备行业发展概况和趋势、竞争格局、主要玩家市场容量
原创2023-04-11 09:05·普华有策咨询
半导体清洗设备行业发展概况和趋势、竞争格局、主要玩家市场容量1、半导体清洗设备行业发展概况和趋势半导体制造过程中不可避免会产生一些颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物，清洗机是指对晶圆表面进行无损伤清洗以去除杂质，获得所需洁净表面，为下一步工艺准备良好条件的工艺设备。清洗机广泛运用于集成电路制造中的成膜前/成膜后清洗、等离子刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后清洗和金属沉积后清洗等各个环节，清洗技术是影响芯片良率的重要因素之一。随着半导体制造工艺技术的不断提升，芯片尺寸不断缩小，对杂质敏感度提升，清洗步骤也在不断增加，90nm的芯片清洗工艺约90道，20nm的清洗工艺则达到了215道，目前清洗步骤占整个半导体工艺所有步骤约1/3，几乎所有制作过程前后都需要清洗，为清洗设备带来了广阔的增长空间。根据清洗介质的不同，半导体清洗技术可以分为湿法清洗和干法清洗两种。目前湿法清洗为主流的清洗技术，占总清洗步骤的90%以上。湿法清洗是根据不同的工艺需求，主要是通过去离子水、清洗剂等对晶圆表面进行无损伤清洗，以去除晶圆制造过程中的杂质。干法清洗是指不使用化学溶剂，采用气态的氢氟酸刻蚀不规则分布的有结构的晶圆二氧化硅层，虽然具有对不同薄膜有高选择比的优点，但可清洗污染物比较单一，目前主要在28nm及以下技术节点的逻辑产品和存储产品有应用。根据清洗方法的不同，湿法清洗包括溶液浸泡法、机械刷洗法、二流体清洗、超声波清洗、兆声波清洗、批式旋转喷淋法六种方法，干法清洗包括等离子清洗、气相清洗和束流清洗三种方法。目前主流的湿法清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等，其中单片清洗设备市场份额占比最高。湿法清洗工艺路线下主流的清洗设备存在先进程度的区分，主要体现在可清洗颗粒大小、金属污染、腐蚀均一性以及干燥技术等标准。制图：普华有策2、半导体清洗设备行业竞争格局全球前五大厂分别是应用材料、阿斯麦、东京电子、泛林科技和科天半导体，来自美国、日本和荷兰。凭借完整的产业链和丰富的技术专利积累，美日欧等发达国家在半导体领域长期保持了全面领先。半导体清洗设备市场集中度非常高，海外企业占据主导地位。全球半导体清洗设备主要被日本DNS（迪恩士）、东京电子、泛林科技和SEMES（韩国细美事）等企业主导，上述企业清洗设备合计占比超过全球市场90%，产业集中度较高。得益于产业转移与国家政策支持，中国大陆半导体设备行业全方位成长，国产半导体设备厂商通过自主研发，在半导体刻蚀、沉积、清洗等方面实现了设备的国产化替代，并进入量产阶段。随着国内企业核心技术和工艺能力的提升，以及在客户认证方面的不断进展，未来刻蚀、清洗设备有望成为显著受益国内市场需求发展的赛道，成为半导体设备行业国产替代的先锋。中国大陆半导体设备销售额前五大厂商为北方华创、中微公司、盛美上海、长川科技、新益昌，清洗设备厂商主要有盛美上海、北方华创、芯源微、至纯科技和提牛科技等，产业集中度较高。3、半导体清洗设备行业内主要企业中国大陆从事半导体清洗设备的企业有盛美上海、北方华创、芯源微、至纯科技和提牛科技。（1）盛美上海盛美上海是中国大陆半导体湿法设备龙头企业，产品主要分为半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备三大类，其中半导体清洗设备收入占全部主营业务收入的比例最高，其主要产品为集成电路领域的单片清洗设备，其中包括单片SAPS兆声波清洗设备、单片TEBO兆声波清洗设备、单片背面清洗设备、单片前道刷洗设备、槽式清洗设备、单片槽式组合清洗设备等，产品线较为丰富。（2）北方华创北方华创是品类最齐全的国产半导体设备龙头，主营业务包括半导体设备、真空设备和电子元器件等，其半导体业务覆盖了刻蚀、沉积、清洗等主要半导体制造设备，产品体系丰富，在半导体清洗设备领域的主要产品包括单片清洗设备及全自动槽式清洗设备，其12英寸单片清洗机采用单片晶圆旋转湿法清洗技术，此设备具有清洗选择性好、清洗效率高等技术，包括化学药液保护系统、管路防静电系统、兆声波系统等，在保证不损伤产品本身结构的前提下，选择性的清洗残留物。（3）芯源微芯源微主要产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备（包括清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），产品可用于6英寸及以下单晶圆处理（如LED芯片制造环节）及8/12英寸单晶圆处理。（4）提牛科技提牛科技公司主要从事半导体清洗设备和中央供液系统（CDS）的研发、生产、销售和服务，主要产品或服务包括半导体槽式清洗设备、部件清洗设备、中央供液系统以及相关改造服务、工程服务和配件销售。清洗设备覆盖了8英寸、6英寸、4英寸晶圆的清洗。（5）至纯科技至纯科技主营业务主要包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。至纯科技目前超过70%的业务在半导体领域，提供槽式设备及单片机设备覆盖目前国内产线成熟工艺及先进工艺涉及的全部湿法工艺。至纯科技提供的湿法设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM、3DFlash）、先进逻辑产品，还覆盖一些特殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。更多行业资料请参考普华有策咨询《2023-2029年半导体清洗设备行业市场调研及发展趋势预测报告》，同时普华有策咨询还提供产业研究报告、产业链咨询、项目可行性报告、专精特新小巨人认证、BP商业计划书、产业图谱、产业规划、蓝白皮书、IPO募投可研、IPO工作底稿咨询等服务。目录第一章半导体清洗设备行业相关概述第一节半导体清洗设备行业定义及分类一、行业定义二、行业特性及在国民经济中的地位及影响第二节半导体清洗设备行业特点及模式一、半导体清洗设备行业发展特征二、半导体清洗设备行业经营模式第三节半导体清洗设备行业产业链分析一、产业链结构二、半导体清洗设备行业主要上游2017-2022年供给规模分析三、半导体清洗设备行业主要上游2017-2022年价格分析四、半导体清洗设备行业主要上游2023-2029年发展趋势分析五、半导体清洗设备行业主要下游2017-2022年发展概况分析六、半导体清洗设备行业主要下游2023-2029年发展趋势分析
第二章半导体清洗设备行业全球发展分析第一节全球半导体清洗设备市场总体情况分析一、全球半导体清洗设备行业的发展特点二、全球半导体清洗设备市场结构三、全球半导体清洗设备行业市场规模分析四、全球半导体清洗设备行业竞争格局五、全球半导体清洗设备市场区域分布第二节全球主要国家（地区）市场分析一、欧洲1、欧洲半导体清洗设备行业市场规模2、欧洲半导体清洗设备市场结构3、2023-2029年欧洲半导体清洗设备行业发展前景预测二、北美1、北美半导体清洗设备行业市场规模2、北美半导体清洗设备市场结构3、2023-2029年北美半导体清洗设备行业发展前景预测三、日韩1、日韩半导体清洗设备行业市场规模2、日韩半导体清洗设备市场结构3、2023-2029年日韩半导体清洗设备行业发展前景预测四、其他
第三章《国民经济行业分类与代码》中半导体清洗设备所属行业2023-2029年规划概述第一节2017-2022年所属行业发展回顾一、2017-2022年所属行业运行情况二、2017-2022年所属行业发展特点三、2017-2022年所属行业发展成就第二节半导体清洗设备行业所属行业2023-2029年规划解读一、2023-2029年规划的总体战略布局二、2023-2029年规划对经济发展的影响三、2023-2029年规划的主要目标
第四章2023-2029年行业发展环境分析第一节2023-2029年世界经济发展趋势第二节2023-2029年我国经济面临的形势第三节2023-2029年我国对外经济贸易预测第四节2023-2029年行业技术环境分析一、行业相关技术二、行业专利情况1、中国半导体清洗设备专利申请2、中国半导体清洗设备专利公开3、中国半导体清洗设备热门申请人4、中国半导体清洗设备热门技术第五节2023-2029年行业社会环境分析
第五章普华有策对半导体清洗设备行业总体发展状况第一节半导体清洗设备行业特性分析第二节半导体清洗设备产业特征与行业重要性第三节2017-2022年半导体清洗设备行业发展分析一、2017-2022年半导体清洗设备行业发展态势分析二、2017-2022年半导体清洗设备行业发展特点分析三、2023-2029年区域产业布局与产业转移第四节2017-2022年半导体清洗设备行业规模情况分析一、行业单位规模情况分析二、行业人员规模状况分析三、行业资产规模状况分析四、行业市场规模状况分析第五节2017-2022年半导体清洗设备行业财务能力分析与2023-2029年预测一、行业盈利能力分析与预测二、行业偿债能力分析与预测三、行业营运能力分析与预测四、行业发展能力分析与预测
第六章POLICY对2023-2029年我国半导体清洗设备市场供需形势分析第一节我国半导体清洗设备市场供需分析一、2017-2022年我国半导体清洗设备行业供给情况二、2017-2022年我国半导体清洗设备行业需求情况1、半导体清洗设备行业需求市场2、半导体清洗设备行业客户结构3、半导体清洗设备行业区域需求结构三、2017-2022年我国半导体清洗设备行业供需平衡分析第二节半导体清洗设备产品市场应用及需求预测一、半导体清洗设备产品应用市场总体需求分析1、半导体清洗设备产品应用市场需求特征2、半导体清洗设备产品应用市场需求总规模二、2023-2029年半导体清洗设备行业领域需求量预测1、2023-2029年半导体清洗设备行业领域需求产品功能预测2、2023-2029年半导体清洗设备行业领域需求产品市场格局预测
第七章我国半导体清洗设备行业运行分析第一节我国半导体清洗设备行业发展状况分析一、我国半导体清洗设备行业发展阶段二、我国半导体清洗设备行业发展总体概况第二节2017-2022年半导体清洗设备行业发展现状一、2017-2022年我国半导体清洗设备行业市场规模二、2017-2022年我国半导体清洗设备行业发展分析三、2017-2022年中国半导体清洗设备企业发展分析第三节2017-2022年半导体清洗设备市场情况分析一、2017-2022年中国半导体清洗设备市场总体概况二、2017-2022年中国半导体清洗设备市场发展分析第四节我国半导体清洗设备市场价格走势分析一、半导体清洗设备市场定价机制组成二、半导体清洗设备市场价格影响因素三、2017-2022年半导体清洗设备价格走势分析四、2023-2029年半导体清洗设备价格走势预测
第八章POLICY对中国半导体清洗设备市场规模分析第一节2017-2022年中国半导体清洗设备市场规模分析第二节2017-2022年我国半导体清洗设备区域结构分析第三节2017-2022年中国半导体清洗设备区域市场规模一、2017-2022年东北地区市场规模分析二、2017-2022年华北地区市场规模分析三、2017-2022年华东地区市场规模分析四、2017-2022年华中地区市场规模分析五、2017-2022年华南地区市场规模分析六、2017-2022年西部地区市场规模分析第四节2023-2029年中国半导体清洗设备区域市场前景预测一、2023-2029年东北地区市场前景预测二、2023-2029年华北地区市场前景预测三、2023-2029年华东地区市场前景预测四、2023-2029年华中地区市场前景预测五、2023-2029年华南地区市场前景预测六、2023-2029年西部地区市场前景预测
第九章普●华●有●策对2023-2029年半导体清洗设备行业产业结构调整分析第一节半导体清洗设备产业结构分析一、市场细分充分程度分析二、下游应用领域需求结构占比三、领先应用领域的结构分析（所有制结构）第二节产业价值链条的结构分析及产业链条的整体竞争优势分析一、产业价值链条的构成二、产业链条的竞争优势与劣势分析
第十章半导体清洗设备行业竞争力优势分析第一节半导体清洗设备行业竞争力优势分析一、行业整体竞争力评价二、行业竞争力评价结果分析三、竞争优势评价及构建建议第二节中国半导体清洗设备行业竞争力剖析第三节半导体清洗设备行业SWOT分析一、半导体清洗设备行业优势分析二、半导体清洗设备行业劣势分析三、半导体清洗设备行业机会分析四、半导体清洗设备行业威胁分析
第十一章2023-2029年半导体清洗设备行业市场竞争策略分析第一节行业总体市场竞争状况分析一、半导体清洗设备行业竞争结构分析1、现有企业间竞争2、潜在进入者分析3、替代品威胁分析4、供应商议价能力5、客户议价能力6、竞争结构特点总结二、半导体清洗设备行业企业间竞争格局分析1、不同规模企业竞争格局2、不同所有制企业竞争格局3、不同区域企业竞争格局三、半导体清洗设备行业集中度分析1、市场集中度分析2、企业集中度分析3、区域集中度分析第二节中国半导体清洗设备行业竞争格局综述一、半导体清洗设备行业竞争概况二、重点企业市场份额占比分析三、半导体清洗设备行业主要企业竞争力分析1、重点企业资产总计对比分析2、重点企业从业人员对比分析3、重点企业营业收入对比分析4、重点企业利润总额对比分析5、重点企业负债总额对比分析第三节2017-2022年半导体清洗设备行业竞争格局分析一、国内主要半导体清洗设备企业动向二、国内半导体清洗设备企业拟在建项目分析三、我国半导体清洗设备市场集中度分析第四节半导体清洗设备企业竞争策略分析一、提高半导体清洗设备企业竞争力的策略二、影响半导体清洗设备企业核心竞争力的因素及提升途径
第十二章普华有策对行业重点企业发展形势分析第一节企业五一、企业概况及半导体清洗设备产品介绍二、企业核心竞争力分析三、企业主要利润指标分析四、2017-2022年主要经营数据指标五、企业发展战略规划第二节企业二一、企业概况及半导体清洗设备产品介绍二、企业核心竞争力分析三、企业主要利润指标分析四、2017-2022年主要经营数据指标五、企业发展战略规划第三节企业三一、企业概况及半导体清洗设备产品介绍二、企业核心竞争力分析三、企业主要利润指标分析四、2017-2022年主要经营数据指标五、企业发展战略规划第四节企业四一、企业概况及半导体清洗设备产品介绍二、企业核心竞争力分析三、企业主要利润指标分析四、2017-2022年主要经营数据指标五、企业发展战略规划第五节企业五一、企业概况及半导体清洗设备产品介绍二、企业核心竞争力分析三、企业主要利润指标分析四、2017-2022年主要经营数据指标五、企业发展战略规划
第十三章普●华●有●策对2023-2029年半导体清洗设备行业投资前景展望第一节半导体清洗设备行业2023-2029年投资机会分析一、半导体清洗设备行业典型项目分析二、可以投资的半导体清洗设备模式三、2023-2029年半导体清洗设备投资机会第二节2023-2029年半导体清洗设备行业发展预测分析 