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一、白光干涉仪干涉仪工作原理

白光干涉仪是基于干涉原理设计的精密光学仪器，它通过测量两束相干光之间的光程差，来测定物理量。这种仪器的灵敏性体现在，光程差的微小变化都会导致干涉条纹的明显移动。干涉条纹的移动反映了光程的改变，而这又可能源于光所经过的几何路程或介质折射率的微小变化。因此，通过分析干涉条纹，我们可以精确测量长度变化或折射率的微小变异，进而获取相关物理量的信息。

白光干涉仪的主要功能包括观察、分析和应用。其独特之处在于非接触式测量，避免了对被测物体的物理损伤，适用于三维表面测量，高度测量范围可达1纳米至200微米。多重视野镜片设计使得物镜切换更为便捷，且具有纳米级的垂直分辨率，达到0.1纳米。高速数字信号处理器保证了测量速度，扫描仪采用闭环控制系统，确保测量精度。工作台配备气动装置，抗震抗压，提供稳定的工作环境。测量软件基于Windows操作系统，用户界面友好且运算快速。

白光干涉仪广泛应用于多个领域：半导体晶片的生产、液晶产品的测试（如CS、LGP、BIU），微机电系统的研发，光纤产品的质量控制，数据存储设备如HDD、DVD、CD的制造，材料科学研究，精密加工表面的检测，以及生物医学工程中的应用，显示出其在高精度测量领域的广泛应用和重要价值。

干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。

二、白光干涉仪的原理是什么

白光干涉仪是一种科学仪器，用于分析光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹。其核心原理在于通过不同的光学元件，构建出参考光路和检测光路，使得两束相干光能够产生干涉现象。

干涉仪基于干涉原理，能够精确测量光程之差，进而测定与之相关的物理量。当两束相干光之间的光程差发生变化时，会极其灵敏地导致干涉条纹的移动。这种变化是由几何路程或介质折射率的变化引起的。因此，通过观察干涉条纹的移动变化，可以测量出几何长度或折射率的微小改变量，进而推算出与此相关的其他物理量。

白光干涉仪在科研和工业生产中具有广泛的应用。其主要功能包括观察、分析和应用。通过该仪器，研究人员可以直观地观察到光的干涉现象，进而对光的性质进行深入研究。此外，白光干涉仪还可以用于检测光学元件的精度、测量微小位移和振动等。在工业生产中，该仪器被广泛应用于光学加工、光学测量和光学通信等领域，为科技进步和工业生产提供了有力的支持。

白光干涉仪用的什么原理，在技术上有什么优势？

白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

可在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

白光干涉仪基本原理：

是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

白光干涉仪技术特点：

XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描；

使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性；

利用已知佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法。

针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量；

SMARTAcquire简化了采集模式并采用已知佳的程序设置的测量范围输入；

Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面。

文章整理自：白光干涉仪-岱美仪器技术服务（上海）有限公司，转载请注明出处！

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