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一、FirstSensor工业级STARe压力传感器芯片产品分析

FirstSensor是一家成立于1982年，总部位于德国柏林的全球领先传感器技术供应商，专注于为工业、医疗及交通领域研发和生产定制化传感器解决方案。在2020年，TEConnectivity完成对FirstSensor的公开收购，目前持有FirstSensor的股份为71.87%。FirstSensor凭借全方位的传感器开发经验、最先进的封装技术以及可批量生产的洁净室，能够根据各行业特定的质量标准和认证要求，如医疗器械的ENISO13485标准和汽车行业ISO/TS16949标准，完成从开发、验证、资质认证到可靠性认证的全过程。

FirstSensor压力传感器芯片采用“先进电阻传感器技术（STARe）”，具备高精度和稳定性，适用于高精度测量和恶劣环境下的腐蚀性介质和液体。这些芯片在工业中用于测量绝压、表压和差压，除了压力传感器，FirstSensor还提供液位传感器、流量传感器、惯性传感器、光学传感器与辐射传感器等系列产品。

FirstSensor工业级STARe压力传感器芯片是一种硅基压阻式压力测量产品，集成了温度测量与补偿功能，量程范围为10kPa至60MPa，工作温度范围为-40至150℃。本报告详细分析了该压力传感器芯片的物理特性，包括芯片剖析、材料分析和桥阻分析，并据此推测出MEMS芯片制造工艺，绘制了光刻版图以供参考。最后，报告还检索并分析了产品的专利情况。

物理分析内容包括：对压力传感器芯片整体进行分析，确认其为“硅-玻璃”两层结构，上层为MEMS结构部分，下层为支撑及绝压腔体部分。重点分析了MEMS结构部分，涉及表面和剖面膜层结构与材料分析、电学分析、掺杂分析以及惠斯通电桥分析。该芯片集成的惠斯通电桥由四边对称排布的压阻条组成，通过重掺离子形成内部电路，使用硅通孔和填充金属Al连接外部电路，采用半开式电桥配置。分析还涵盖了芯片上的温度传感单元。

根据物理分析结果，报告推测了MEMS芯片制造工艺，包括晶圆级键合工艺。分析指出，离子注入分为重掺和轻掺两次，硅槽采用各向异性湿法腐蚀，“硅-玻璃”两层结构的键合方式为晶圆级阳极键合。

报告进一步绘制了MEMS芯片的光刻版图，共包含八张光刻版图，涉及正面七次光刻（用于形成切割道、压阻、重掺杂、绝缘层、电磁屏蔽层、硅通孔和填充金属）以及背面一次光刻（用于形成背腔）。此外，报告还对上述分析内容进行了相关专利检索与分析，以提供从专利到产品的映射关系，帮助理解技术要点及专利保护范围，并进行侵权关联性分析，以有效避免侵权纠纷。

报告目录涵盖了报告综述、公司介绍、物理分析、制造工艺、版图以及专利到产品的映射分析等内容，并附有FirstSensor工业级STARe压力传感器版图文件的下载链接。

二、液体压力传感器，哪个品牌传感器好，压力传感器

为您推荐万和最新的传感器型号WH311投入式液体压力传感器。WH311规格参数，请参考以下介绍：

1.尺寸：32mm，搭载液位显示器的全实时显示液位；分辨率默认为0.01m。

2.0.25级精度的高精度德国技术液位传感芯片搭配军工加粗防水导气线缆运行，拥有超快超稳定的4-20mA电流信号输出运行速度和顺畅的应用体验。

3.外壳材质：不锈钢304；316L可选（以实际销售为准）。

4.测量深度：总100，200，300，500-1000MH2O；总测量精度0-5，0.25/0.1%F.S；最高支持0.1级精度的0-500mH2O。

5.液位显示器：自带两路继电器输出，支持4-20mA信号输出，可选控制高低液位报警功能，可选自动补水排水，支持双通道，四通道，5位数字显示，水位传示仪，水位无纸记录仪可选。

6.采用防水导气电缆。

液位传感器与液位变送器的区别

液位传感器是一种用于检测液体水平的装置。当传感器感应到液位时就会将感知到的数据转化为电信号输出。液位传感器的应用非常广泛，例如：咖啡机里当水位低于设置传感器位置时，传感器给出信号提醒加水，同样液位传感器也可实现防溢出功能。还可用于洗衣机，饮水机，泡茶机，医疗设备，工业设备等需要检测液体的电器，设备。

液位传感器比较常见的有光电液位传感器，电容式液位传感器和超声波液位传感器。光电液位传感器是利用光在两个不同的介质界面上产生的折射原理；电容式液位传感器内置MCU芯片，利用算法控制，通过感应有水和无水时的电容值差异来判断水箱是否缺水；超声波液位传感器发送超声波，遇得到障碍物后产生反射形成回波。

液位变送器是根据不同比重的液体在不同高度所产生的压力成线性关系的原理，实现对水、油的体积、液高、重量的准确测量和传送。主要应用于城市供水、污水处理、石油化工、电厂等领域的液位的测量与控制。

液位变送器常用的有投入式液位变送器、射频电容液位变送器等。投入式液位变送器是基于所测液体静压与该液体高度成正比的原理；射频电容液位变送器原理是探级线的金属内芯为电容的一级，导电液体为电容的另一级，即探级线的绝缘外层作为两极之间的介质，随着液位的变化，液体包围探级线的面积随之改变。

————深圳市能点科技有限公司

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